一、气相沉积镀膜系统材质分析:高通量材料制备(High-Throughput)
-100种样品同时制备,批量高速检测;
-4英寸薄膜,1σ优于1%的超均匀薄膜;
-适用多种镀膜技术,可生长各种薄膜。
二、智能化
-自动控制,一键运行;
-实时监查,远程操控;
-应急制动,安全互锁。
三、稳定性
‒腔体环境高效水冷,精确温度控制,减少材料掺杂;
‒程序全自动化控制,减少人工误差,提高制备重复性;
‒磁控靶枪和电子枪,水压/水流/水温自动报警,提高安全性;
‒激光窗口清洁装置,保证激光轰击能量密度和材料生长稳定性。
四、实时性
‒PID温控系统稳定电流输出,避免磁场波动;
‒RHEED原位分析与监控,实时观测薄膜质量及厚度;
‒高精度石英晶振,监控镀膜速率及镀膜稳定性;
‒高清摄像头,实时监控辉羽状态和材料生长过程。
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气相沉积镀膜系统腔体环境高效水冷,精确温度控制